GB/T39144-2020氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法

GB/T 39144-2020.Test method for magnesium content in gallium nitride materials-Secondary ion mass spectrometry.
1范围
GB/T 39144规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 14264半导体材料术语
GB/T 22461表 面化学分析词汇
GB/T 32267分析仪器性能测定术语
3术语和定义
GB/T 14264、GB/T 22461和GB/T 32267界定的术语和定义适用于本文件。
5干扰因素
5.1 二次离子质谱仪存在记忆效应,若测试过镁含量较高的样品,仪器样品室内会残留高含量镁,影响镁含量的测试结果。
5.2仪 器型号不同或者同一仪器的状态不同(例如电子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦状态等),会影响本方法的检出限。
5.3 在样品架窗口范围内的样品分析面应平整,以保证每个样品移动到分析位置时,其表面与离子收集光学系统的倾斜度不变,否则会降低测试的准确度。
5.4样品表面吸附的镁离子可能影响镁含量的测试结果。
5.5测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低,应通过对样品表面化学机械抛光或者化学腐蚀抛光降低表面粗糙度。
5.6标准样品中镁含量的不均匀性会限制测试结果的准确度。
5.7标准样品中镁标称含量的偏差会导致测试结果的偏差。