GB50646-2020特种气体系统工程技术标准

GB 50646-2020.Technical standard for specialty gas system engineering.
1总则
1.0.1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规,满足产品生产要求,确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理,制定本标准。
1.0.2 GB 50646适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。
1.0.3 GB 50646不适用于特种气体的制取、提纯、 灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
1.0.4 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 特种气体 specialty gas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas
也称作发火气体,是指在空气中等于或低于54°C时可能自燃的易燃气体。
2.0.3 易燃性气体 flammable gas
一种在20°C和标准压力101. 3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。
2.0.4 剧毒性气体 highly toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m3的气体。
2.0.5 毒性气体 toxic gas
半致死浓度(空气中吸人4h)大于100mL/m3但不超过2500mL/m3的气体。
2.0.6 腐蚀性气体 corrosive gas
对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。
2.0.7 氧化性气体 oxidizing gas
一般通过提供氧气,比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。
2.0.8 惰性气体 inert gas
在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。