GB/T38783-2020贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法

GB/T 38783-2020.Method of coating thickness determination for precious metal composites by scanning electron microscope.
1范围
GB/T 38783规定了各类贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测量方法。
GB/T 38783适用于10nm~200μum的覆层厚度测量。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 13298-2015金属显微组织检验方法
GB/T 16594微米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T 17359微束分析能谱法定量分析
GB/T 17722-1999金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法
GB/T 20307纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
聚焦离子束 focused ion beam;FIB
将液态金属离子源产生的金属离子(Ga离子),通过离子枪加速、聚焦后形成离子束流。
3.2
双束电子显微镜 dual beam electron microscope
在扫描电子显微镜(聚焦电子束)中还安装了聚焦离子束(FIB)系统的显微镜。
3.3
气体注入系统 gas injection system;GIS
在双束电子显微镜中集成的用于储存和释放各种类型金属或非金属气体化合物的硬件系统。
注:可以通过电子束或离子束对注人气体进行诱导气相沉积,在样品表面形成特定金属或非金属的保护层或图案，也可以使用电子束或离子束对其进行诱导刻蚀以达到增强刻蚀的目的。
3.4
共焦点 beams coincidence
在双束电子显微镜中电子束和离子束焦平面的交点,在该高度位置上可同时实现离子束的精确加工与电子束的清晰成像。