GB/T31854-2015光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

GB/T 31854-2015.Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry.
1范围
GB/T 31854规定了利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质含量的方法。
GB/T 31854适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定。各元素的测量范围见表1。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.1-2010洁净室 及相关受控环境第 1部分:空气洁净度等级
3方法提要
将试样用硝酸和氢氟酸的混合物溶解，加热使溶液蒸干,溶液中的硅以SiF4的形式挥发。然后用硝酸溶液溶解残渣,用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定溶液中待分析金属元素的含量。
4干扰因素
4.1实验室的洁净度、容器和仪器进样系统的洁净度、试剂和水的纯度以及操作过程等因素直接影响测量结果的准确度,应严格控制。
4.2双原子离子、多原子离子 、基体效应、背景噪声、元素间的干扰、交叉污染和仪器漂移等因素会影响测量结果。
4.3由于硅材料中金属杂质分布不均匀,样品的选择会影响产品中体金属杂质含量的评价结果,因此所取样品应具有代表性。
4.4如果 样品中杂质含量高,可采用电感耦合等离子体原子发射光谱等方法进行测定,以仪器被污染，影响仪器的检测限和精确度。